目前,蔡司和赛默飞都推出了聚焦离子束显微镜 FIBSEM示意图,与聚焦离子束的三种工作模式 a成像b加工c沉积 来源蔡司,NE时代整理 蔡司双束电镜 Crossbeam 系列结合了高分辨率场发射扫描电镜 FESEM 的出色成像和分析性能和 FIB 的优异加工能力,无论是用于多用户实验平台还是科研或工业实验室,利用 Crossbea。
案例客户为专业精密光学元器件设备制造商,其主要产品包含离子束抛光机磁流变抛光机等,提供超精密光学工艺制造研发服务,作为一家超精密光学元器件解决方案提供商,其专注于非接触式亚纳米离子束表面修形,应用于半导体精密光学领域,加工指标涵盖了从51200mm的加工尺寸,采用非接触式加工,无边缘效应。