目前,蔡司和赛默飞都推出了聚焦离子束显微镜 FIBSEM示意图,与聚焦离子束的三种工作模式 a成像b加工c沉积 来源蔡司,NE时代整理 蔡司双束电镜 Crossbeam 系列结合了高分辨率场发射扫描电镜 FESEM 的出色成像和分析性能和 FIB 的优异加工能力,无论是用于多用户实验平台还是科研或工业实验室,利用 Crossbea。
案例客户为专业精密光学元器件设备制造商,其主要产品包含离子束抛光机磁流变抛光机等,提供超精密光学工艺制造研发服务,作为一家超精密光学元器件解决方案提供商,其专注于非接触式亚纳米离子束表面修形,应用于半导体精密光学领域,加工指标涵盖了从51200mm的加工尺寸,采用非接触式加工,无边缘效应。
离子束抛光则通过离子碰撞提高抛光精度,达到纳米级的表面粗糙度而等离子体辅助抛光则利用化学反应去除表面材料,为光学镜片的抛光带来了全新的可能随着5G时代的来临,光学技术将与ARVR等领域紧密结合,推动自动驾驶虚拟现实等领域的创新突破,为行业带来无限的机遇和挑战。
以艾思福科技IFS300A离子束抛光机为例,其独特的卧式设计更进一步提升了设备的性能与传统立式布局相比,这种设计保护了镜面,操作更加便捷,且能有效防止离子溅射产物对离子源的干扰,确保设备的长期稳定运行总的来说,离子束抛光对于光学加工领域来说,无疑是一次技术革命,它实现了从接触式到非接触式。
每天需要消耗 30 升 LN2,包括设备冷却过程。