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探针台(Probe Station)是一种关键设备,用于精确测试半导体器件的电性能。它结合了精密机械结构和高性能探针针头,能够直接测试半导体芯片、集成电路等微电子器件,从而为研究和生产提供重要数据。探针台根据不同的分类标准可以分为多种类型。
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