各种基于新原理的抛光方法逐渐被提出，如离子束抛光等离子体辅助化学抛光液体喷射抛光磁流变抛光化学机械抛光和弹性发射加工等其中日本大阪大学学者发明的弹性发射加工方法利用工件材料与磨料之间发生固相反应实现原子级材料去除，被认为是获得最高表面质量的加工方法，可以达到 RMS 01nm 的表面粗糙；纳米抛光利用等离子态能量，快速整平表面，适用于手机电子集成电路制造等其加工费用低，效果好，精度高，适用于各种行业超声波抛光利用超声波振动，磨料悬浮液对材料表面进行加工适用于硬脆材料和非金属材料，加工精度高，效果好，适合薄壁窄缝等复杂零件的处理磁流变抛光是一种新兴技术，磁性。